“睿光一号”半导体检测设备
√ 支持 QFN,LGA,BGA 等多种封装形式
√ 3D 精度:±5um
√ UPH up to 40k
√ 3*3mm - 120*120mm 芯片
√ 最小球径 :100um
√ Tray to tray/tray to reel上下料(可定制)
√ 自动 setup/calibration
我们的能力
光学能力
多层对焦功能,无限景深,全面清晰成像/多重聚焦融合技术/绝对精度可达1um/光学自动校准
算法
Bump、Wire bond等三维形貌还原技术/零负样本检测算法,识别未知缺陷
速度
UPH:5x5: 40k,35x35:3k/算法多线程
智能交互数据服务:图形化编程,使用可者直接添加模块功能/为客户云端、私有化存储数据部署服务器,预留算力,迭代算法/在线统计分析,数据多机互联,数据导出,数据可追溯
产品架构